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- 12000-16000
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- 20000以上
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属性
- 10-7Torr
- <1%
- 700度
- 6英寸
- 磁控溅射镀膜机
- 进口
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NPE-4000 (M) 等离子体化学气相沉积系统

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NPE-3500 PECVD等离子体化学气相沉积系统

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NPE-4000 (ICPA) 全自动等离子体化学气相沉积系统

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NTE-4000 (A) 全自动热蒸发系统

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NTE-3500 (M) 热蒸发系统

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