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【速普仪器】双靶喷金仪J20
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【速普仪器】双靶喷金仪J20

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速普仪器

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  • 产地类别: 国产
  • 靶材材质: Au+Pt
  • 靶材尺寸: φ30*0.2-1mm
  • 控制方式: 触摸屏一键式操作
  • 样品仓尺寸: φ135x120mm
  • 样品台尺寸: φ75mm
  • 溅射气体: 空气

J20是一款低真空双靶离子溅射仪,基于磁控溅射原理,采用高性能旋片泵快速产生一个 小于3Pa的真空压强,搭配自主研发的旋转偏转样品台,在样品表面沉积一层更均匀稳定的导电膜层,广泛适用于追求更高分辨率或温度敏感SEM电镜样品、特别是3D粉末类样品的喷金、喷铂、喷镀铂金合金等用途。自动化程序控制,触摸屏操作,即插即用。

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